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主营产品
SCG200系列半导体级单晶硅炉、氮化铝原料提纯炉ANET920系列、JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉、碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列、SCG400系列半导体级单晶硅炉、蓝宝石单晶炉SET280系列、SCG300系列半导体级单晶硅炉、SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉、SCMP/LP系列TSSG法碳化硅单晶炉、SCMP系列感应加热PVT碳化硅单晶炉、电阻加热PVT SCR950系列碳化硅单晶炉、蓝宝石单晶炉SET300系列、集成电路刻蚀用硅材料长晶炉MSIR1050系列等产品。